- ионно-атомное осаждение
- Makarov: ion-atomic deposition
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов — ПодразделыФизические методы (лазерные, электронно лучевые, ионно плазменные) осаждения слоев нанометровых толщинПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиХимическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD,… … Энциклопедический словарь нанотехнологий